超純水設(shè)備/半導(dǎo)體材料清洗超純水/超純水維護(hù)/超純水保養(yǎng)

（馬錦玉 18151073719）

半導(dǎo)體超純水設(shè)備主要用于高技術(shù)的工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程，尤其是半導(dǎo)體超純水設(shè)備這種要求較高的技術(shù)尖端行業(yè)，對(duì)水質(zhì)要求非常嚴(yán)格。半導(dǎo)體超純水設(shè)備用水中K+、Na+、Cu2+、Zn2+、Fe2+、Cr6+、Mn2+等金屬離子含量都要在ppb級(jí)以下，總硅小于3ppb，TOC小于50ppb，電阻率在18M?·cm以上，半導(dǎo)體超純水設(shè)備水質(zhì)中及其微量的雜質(zhì)原子都會(huì)對(duì)產(chǎn)品造成極大的影響。

控制系統(tǒng)：采用PLC可編程序智能控制以及觸摸屏控制，開(kāi)機(jī)時(shí)設(shè)備電控系統(tǒng)自動(dòng)檢測(cè)，配備漏電保護(hù)裝置;全自動(dòng)制水、儲(chǔ)水桶儲(chǔ)水，取水用水快速及時(shí);停水或水壓不夠，系統(tǒng)自動(dòng)斷電停機(jī)保護(hù)，無(wú)須專(zhuān)人職守。

深度除鹽：采用反滲透深度除鹽處理技術(shù)(針對(duì)源水含鹽量較高地區(qū)采用兩級(jí)反滲透)，可生產(chǎn)出高品質(zhì)的純水作為后級(jí)純化、超純水設(shè)備的進(jìn)水，使其保持更佳狀態(tài)運(yùn)行和延長(zhǎng)使用壽命。

半導(dǎo)體硅材料高純水設(shè)備的使用原理：

1、水進(jìn)入EDI系統(tǒng)，主要部分流入樹(shù)脂/膜內(nèi)部，而另一部分沿模板外側(cè)流動(dòng)，以洗去透出膜外的離子。

2、樹(shù)脂截留水中的溶存離子。

3、被截留的離子在電極作用下，陰離子向正極方向運(yùn)動(dòng)，陽(yáng)離子向負(fù)極方向運(yùn)動(dòng)。

4、陽(yáng)離子透過(guò)陽(yáng)離子膜，排出樹(shù)脂/膜之外。

5、陰離子透過(guò)陰離子膜，排出樹(shù)脂/膜之外。

6、濃縮了的離子從廢水流路中排出。

7、無(wú)離子水從樹(shù)脂/膜內(nèi)流出。

超純水設(shè)備/半導(dǎo)體材料清洗超純水/超純水維護(hù)/超純水保養(yǎng)