精密運動控制系統(tǒng)解決方案|運動控制器|驅動器|伺服電機|執(zhí)行機構|電動缸|6自由度平臺|拉曼光譜儀|比對儀|干涉儀|軸承|導軌|絲…
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更新日期2023-11-18 19:18
品牌： |
aerotech |
所在地： |
江蘇 蘇州市 |
起訂： |
≥1 臺 |
供貨總量： |
10 臺 |
有效期至： |
長期有效 |
AHL9000直線電機平臺
1專為晶片檢測，平板顯示加工和光學檢測及制造應用設計
2掃描軸是空氣軸承，步進軸是機械軸承
3行程達1.2米X1.2米
4雙直線電機驅動步進軸
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
行程≤350mm
精度±1.0um
重復定位精度±0.20um
直線度±0.60um
平面度±0.60um
更多技術內容及應用請咨詢銷售工程師程健186（1288）5992
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