器簡介：S-3000N是可變壓力的SEM，而S-3000H則是普通的高真空SEM。兩種型號都使用Windows NT操作環(huán)境，這是用戶非常熟悉的圖形界面操作系統。1280 x 960分辨率的高密度圖像幀存儲器可以幫助獲得并儲存高質量的圖像。這兩種型號SEM的使用都比您想象的更簡單，性價比更好，而且也能滿足您未來的需要。

技術參數：
技術指標：
二次電子分辨率 3.0nm (25kV,高真空模式)
VP可變壓力模式分辨率 4.0nm (25kV,可變壓力模式)
放大倍數范圍 5x~300,000x(65階)
加速電壓 0.3kV~30Kv
可變壓力范圍 1~270Pa
最大樣品尺寸 150mm直徑
圖像移動范圍 ±20μm(WD=15mm)
樣品臺(選項)
(1) 超優(yōu)中心樣品臺
X: 32mm Y: 32mm Z: 5~35mm
R: 360° T: -90°~+90°
自動樣品臺：無

(2) 80x40平動式樣品臺
X: 80mm Y: 10mm Z: 5~35mm
R: 360° T: -20°~+90°
圖形移動自動樣品臺
軟件：可選

(3)大型優(yōu)中心樣品臺
X: 100mm Y: 50mm Z: 5~40mm
R: 360°T: -0°~+60°
圖形移動自動樣品臺
軟件：可選

(4)冷卻樣品臺-20
X: 15mm Y: 15mm Z: 15~35mm
R: 無T: -45°~+45°
自動樣品臺：無
電子槍： U型鎢絲
槍偏壓
可加速電壓關聯
可變電壓(雙偏壓功能)
檢測器
SE檢測器
BSE檢測器，可變壓力模式
EDX位置 W.D.=15mm, 出入角=35°
操作語言英語(日語)
計算機操作系統 PC兼容，Windows NT
SEM操作鼠標、鍵盤旋鈕控制盤(選件)
掃描方式 TV,慢速(4步),照相(4步),分開
顯示器大屏幕 XGA彩色顯示器(1024 x 768像素)
自動調節(jié)功能
自動聚焦，自動像散校正
自動亮度和對比度調節(jié)
自動燈絲飽和度調節(jié)
數字圖像儲存 640 x 480像素，1280 x 960像素
圖像格式 BMP
圖像數據條顯示
加速電壓，放大倍數，
微米標尺,WD(工作距離),照片放大倍數
真空度水平,檢測器,日期,文件號等
真空系統
全自動，DP 570L/Sec，
RP 160L/min x 2 (S-3000N)
RP 160L/min x 1 (S-3000H)
系統保護斷電、失真空和缺水保護